電子級(jí)氫氟酸檢測(cè)機(jī)構(gòu) 氫氟酸雜質(zhì)檢測(cè)分析中心
發(fā)布時(shí)間:2022-09-15
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電子級(jí)氫氟酸介紹
電子級(jí)氫氟酸分子式HF,分子量 20. 01。為無色透明液體,相對(duì)密度1. 15~1 . 18,沸點(diǎn) 112 . 2 ℃,在空氣中發(fā)煙,有刺激性氣味,劇毒。能與一般金屬、金屬氧化物以及氫氧化物發(fā)生反應(yīng),生成各種鹽類。
腐蝕性極強(qiáng),能侵蝕玻璃和硅酸鹽而生成氣態(tài)的四氟化硅。易溶于水、醇,難溶于其他有機(jī)溶劑。高純氫氟酸為強(qiáng)酸性清洗、腐蝕劑,可與硝酸、冰醋酸、雙氧水及氫氧化銨等配置使用。

電子級(jí)氫氟酸檢測(cè)項(xiàng)目
沸氫氟酸(HF)含量、灼燒殘?jiān)⒙然?、硫酸鹽和亞硫酸鹽、磷酸鹽、氟硅酸鹽、鐵、重金屬、含量等。
電子級(jí)氫氟酸用途
應(yīng)用于集成電路 ( I C)和超大規(guī)模集成電路 (VLSI)芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業(yè)制作過程中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,還可用作分析試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。目前,在國(guó)內(nèi)基本上是作為蝕刻劑和清洗劑用于微電子行業(yè) ,其他方面用量較少。
電子級(jí)氫氟酸質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)
目前,因各微電子生產(chǎn)企業(yè)對(duì)電子級(jí)氫氟酸要求的標(biāo)準(zhǔn)不同,可將其劃分為四個(gè)檔次:
1 低檔產(chǎn)品,用于>1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;
2 中低檔產(chǎn)品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術(shù)的制作;
3 中高檔產(chǎn)品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術(shù)的制作;
4 高檔產(chǎn)品(UPss),適用于0.09~0.2μm和<0.09μmIC工藝技術(shù)的制作。
氫氟酸雜質(zhì)檢測(cè)分析中心
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中科檢測(cè)具備氫氟酸檢測(cè)資質(zhì)能力,提供CMA/CNAS資質(zhì)檢測(cè)報(bào)告,致力于產(chǎn)品研發(fā)、成分檢測(cè)、成分分析、配方還原、未知物分析等檢測(cè)技術(shù)服務(wù)。有檢測(cè)需求可以咨詢中科檢測(cè)工程師了解。
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